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详解靶材的种类和应用领域

  靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应 。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

  靶材的种类:⒈ 金属靶材  ⒉ 陶瓷靶材  ⒊合金靶材

  微电子领域:半导体产业对靶材的品质要求是最苛刻的,这就要求所制造的靶材具有更好的微观结构,靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉 积率的关键因素平面显示器用靶材:

  现在的1TO靶材有两种,一 种是采用纳米状态的氧化铟和氧化锡粉混合后烧结,一种是采用铟锡合金靶材。存储技术用靶材:在储存技术方面,高密度、大容量硬盘的发展,需要人鼍的巨磁阻薄膜材料,CoF ~Cu多层复合膜是 现在应朋展广泛的巨磁阻薄膜结构。

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