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多层光学镀膜机技术参数表

  型 号

  GX-1050A

  GX-800A

  GX-900A

  GX1200A

  镀膜室尺寸

  Ф1050×1250,304不锈钢。

  Ф800×1000

  Ф900×1050

  Ф1200×1250

  镀膜腔内尺寸

  工装夹具支架离地1680mm,适合人体工学的操作高度。

  工装夹具支架离地1468mm,适合人体工学的操作高度。

  工装夹具支架离地1510mm,适合人体工学的操作高度。

  1.拱型单工件盘,更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转5-30r/min,无级变速。

  2.拱型三工件盘,行星公自转,更大限度满足客户对生产量的需要。旋转5-30r/min,无级变速。

  工装夹具

  供型四片装,支架倾角可调,更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转5-30r/min,无级变速。

  拱型单工件盘,更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转5-30r/min,无级变速。

  拱型单工件盘,更大限度满足客户对均匀性的需要。旋转5-30r/min,无级变速。

  真空系统

  机组:扩散泵DIP-12000(莱宝),罗茨泵ZJY-300,机械泵2X-70,维持泵2X-8。管路为304不锈钢。

  机组:扩散泵KT-400(振华),罗茨泵ZJY-150,机械泵2X-70,维持泵2X-8。

  机组:扩散泵KT-600(振华),罗茨泵ZJY-600,机械泵2X-70,维持泵2X-8。

  机组:扩散泵KT-800(振华),罗茨泵ZJY-600,机械泵2X-70,维持泵2X-8。

  极限真空:优于4×10-4 Pa。

  配置防湍流装置,安全互锁设计,手动,自动可选。

  加热系统

  发热管上加热方式,PID控制,最高350℃±1.5℃。

  工作气体充气

  气体质量流量控制仪器或手动微调充气阀。

  真空电离轰击

  直流3KV,06KW棒状阴极(用于镀膜前进行自行对工件清洗)。

  蒸发源(选配)

  1. TELEMARK-270°电子枪(进口),6KW、高压4KV-10KV可调。定位扫描、三角波扫描、圆形扫描、螺旋扫描。束斑聚焦性好、定位精度高,扫描再现性好。

  2. 国产电子枪(振华):6KW、高压4 KV~8KV可调,可自由选择三角波、正弦波、方波扫描。

  3. 坩埚:六穴Φ38×20坩埚或四穴Φ38×20加一穴中心弧长87的弧形坩埚(用于耗量大低熔点蒸发材料)或四穴Φ48×18坩埚。

  离子源(选配)

  1. RF(射频型)离子源(进口)。

  2. 5KVA霍尔离子源(振华产),用于电镀前清洗或电镀过程进行辅助镀,有利于提高膜层折射率,牢固度、提高膜层致密性、附着力。

  膜厚控制系统(选型)

  1.MDC-360晶控器(进口)可储存1~99层自动镀膜过程,99种程序数据,精度0.5%+1? 固定误差。2TELEMARK-880晶控器(进口):可储存1~99层自动镀膜过程、99种程序数据。精度0.5%+1? 固定误差。

  3.TELEMARK-820光控器(进口):采用多波长的全光谱终点分析技术,通过对监控片370-870㎜的透射率(或反射率)曲线分析来判定膜层终了。控制精度高,同时也可采用单波长控制、自动控制和手动控制。附加MACILEOD膜系计算软件,一体化程度高。

  4.TELEMARK-820光控器配合TELEMARK-880晶控器能满足高精度、高重复性的镀膜要求。与上位机配合可以实现全自动控制。

  5.国产光控器(如9704型配套单色仪等)波长330~870 可调,精度可达到±1.5nm。

  手操器

  带磁底座,可安置在真空室门及控柜任意位置。

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